西咸新区的五大新城发展定位因地理位置不同,而都有不同的定位和发展任务。一台EUV光刻机就要10亿元左右;一个5nm制程芯片厂要100亿美元左右;造芯片能不难吗?很多人听说过光刻机,总以为只要有EUV光刻机,中芯国际很快就能够量产7nm制程芯片?实际上,并非如此!除了光刻机,需要至少数十种高精尖半导体设备,譬如说:等离子刻蚀机;反应离子刻蚀系统;离子注入机;单晶炉;圆晶划片机;晶片减薄机;气相外延炉;氧化炉(VDF);低压化学气相淀积系统;等离子体增强化学气相淀积系统;磁控溅射台;化学机械研磨机;引线键合机...
更新时间:2022-04-30标签: 年产2Gw条线2GW单晶 全文阅读